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C₃H₉Al (TMA)

トリメチルアルミニウムは有機化合物の一種で、化学式C₃H₉Al、無色透明の液体で、主にオレフィン重合触媒、点火燃料として使用され、直鎖第一級アルコールやオレフィンの製造にも使用されますが、金属有機化合物の蒸着にも使用できます。。

用途：半導体/ALD

純度：99.99995%

CAS：75-24-1

パッケージ：シリンダー

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