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CF₄

水に不溶。これはハロゲン化炭化水素であり、ハロゲン化炭化水素、ハロゲン化メタン、パーフルオロカーボンのいずれかと考えることも、無機化合物と考えることもできます。主にさまざまな集積回路のプラズマエッチングプロセスで使用され、レーザーガスや冷媒としても使用されます。

CF4-分子式xiangqing

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