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Cl₆Si₂ (HCDS)

Heキサクロロジシランは、化学式 Si₂Cl₆ の無機化合物で、ほとんどの空気中で発煙する無色の液体です。試薬として、また金属シリコンの揮発性前駆体として特殊な用途があります。

用途：半導体/CVD

純度：99.999%

CAS：13465-77-5

パッケージ：シリンダー/ドラム

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