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SF₆

 
六フッ化硫黄ガスは無色無臭の気体で、水、アルコール、エーテルにわずかに溶け、水酸化カリウム、液体アンモニア、塩酸、水に溶けます。鋼やケイ素鋼などの特定の金属が存在すると、それらのゆっくりとした分解が促進される可能性があります。
 
用途:半導体/エッチング
純度:99.999%
CAS:2551-62-4
パッケージ:シリンダー
可用性ステータス:

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